什么是干泵？

滿足電子和半導(dǎo)體行業(yè)需求的泵

干泵是一種在真空室中不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在FPD、電子、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域，為了改善產(chǎn)品的成品率、可維護(hù)性，需要使用干泵。其中有代表性的泵是羅茨型干泵。

使用了羅茨型干泵的技術(shù)!

FPD制造裝置、半導(dǎo)體制造裝置、真空蒸餾、精制脫氣、**、干燥脫水、**等

羅茨型干泵的特征

多段結(jié)構(gòu)的羅茨型干泵

羅茨型干泵是將多段機(jī)械增壓泵為一體的干泵。羅茨型干泵使用三葉轉(zhuǎn)子，通過單軸連接多段轉(zhuǎn)子，能夠壓縮、排氣至大氣壓。

有點(diǎn) 可獲得清潔真空，從大氣壓到到達(dá)壓力均可使用。

缺點(diǎn)

羅茨型干泵的結(jié)構(gòu)

通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子輸送氣體

該泵的殼體中有兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子（旋轉(zhuǎn)體），轉(zhuǎn)子通過一對(duì)齒輪以相同的周期相反方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子間，以及轉(zhuǎn)子和殼體間不會(huì)接觸，保持微小的間隙旋轉(zhuǎn)，對(duì)氣體進(jìn)行壓縮和輸送。轉(zhuǎn)子具有多段結(jié)構(gòu)，壓縮至大氣壓，并排放到大氣中。轉(zhuǎn)子，殼體中不使用油等密封液，因此可以進(jìn)行清潔排氣。油用于齒輪和軸承的潤(rùn)滑，但設(shè)計(jì)了密封結(jié)構(gòu)以防止油進(jìn)入殼體。